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2016-06-28
大半導(dǎo)體關(guān)鍵電子化學(xué)品系列報告之一-光刻膠
光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的 35%，并且耗費時間約占整個芯片工藝的 40%-60%。因此光刻膠是半導(dǎo)體集成電路制造的核心材料。
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